显微光学整体解决方案

ID-106工业显微镜

    ID-106工业显微镜广泛应用于半导体、电子工业等行业,进行晶体、集成电路的检验和科学研究。配备有反射照明,偏光装置,可连接照相。
技术参数
    1.无限远光学系统,管镜焦距200mm
    2.铰链式三目镜筒,30°倾斜,瞳距55-75mm
    3.高眼点、大视场目镜WF10×/22
    4.五孔物镜转换器
    5.长工作距离平场复消色差物镜
    Plan Apo 2×/0.055   W.D. 34.6mm 分辨率 5μm,
    Plan Apo 5×/0.14    W.D. 45mm   分辨率 2μm,
    Plan Apo 10×/0.28   W.D. 34mm   分辨率 1μm,
    Plan Apo 20×/0.29   W.D. 30.8mm 分辨率 1μm
    Plan Apo 50×/0.42   W.D. 20.5mm 分辨率 0.7μm
    6.150mm×150mm(6"×6")双层活动平台和圆平台,主要的特点是用了尼康三角钢丝和圆柱滚珠,从而在设计和材料上保证其平稳和精度要求。
    7.同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
    8.冷光源光纤反射照明器:12V 150W,特别明亮清晰,对黑色、深色表面不反光工件塑料、橡胶、碳化物金属等,亦可清晰。
载物台附件

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