显微光学整体解决方案

CN三座标非接触测量显微镜

    CN三坐标非接触测量显微镜所使用的影像测量技术、图像处理技术、自动调焦技术、亚象素寻边技术测量分析软件极大的提高测量精度和测量效率。仪器光学系统品质优良,物镜成像清晰,倍率广泛。提供物体轮廓(透射)和表面(反射)同轴照明,保证物体影像清晰。导轨、丝杠、光栅尺、电机等关键部件全部选用国外著名品牌,保证系统的高质量和高可靠性。
    自动识辨物体焦面位置和自动寻找物体亚象素边界。优质运动控制器和图像传感器,保证高品质图像质量和工作台的低噪音平稳运动。X、Y、Z轴全部电机闭环控制运动,Z轴装有粗微调焦手轮调节以适应测量工件高度要求。多种形位尺寸(几何元素)测量,点、线、面、圆、椭圆、球面及其几何元素间的关系,圆度、球度、平面度等形状公差,平行度、垂直度等位置公差。平面定义与自动三维采点测量,按国标GB11337-98的各种方法自动进行平面度误差检测。提供测量编程指令,具有自学习编程功能,自动批量快速测量,大大提高检测效率。
    人性化方便的运动控制和多种方式的测量功能,编程和自学习,成倍提高测量效率。系统提供多达20个机械坐标和工件坐标。无需转台,实时非接触测量物体的高度、距离、角度等参数。无需倾斜台,对物体基准面进行数学找正,避免物理找正的烦琐。提供强大的数理统计分析和数据库功能:统计参数计算,正态、历史、直方图、X2、T、F分布,X2、T、F检验,单因素方差分析和相关性检验等。输出结果形式多样,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等应用软件使用。几何形状测量与构造实时图形的直观显示,利于测量检查。提供在线帮助功能,操作简便,易学易用。
技术参数
工作台行程 标配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm
选配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm
光学尺分辨率 标配:0.001mm闭式; 选配:0.0005mm闭式,0.0001mm开式
重复定位精度 X,Y,Z: ≤0.0015mm
重复调焦精度(倍率大于150×) ≤0.0015mm
系统不确定度 分辨率为0.001mm时:X,Y: (3.0+2×L/400)/1000(mm),Z≤0.005mm
分辨率为0.0005mm时:X,Y: (1.5+2×L/400)/1000(mm),Z≤0.005mm
分辨率为0.0001mm时:X,Y: (0.5+2×L/400)/1000(mm),Z≤0.005mm
仪器配置
部件名称 规格(标配) 选件 备注 
CCD工业摄像头  彩色CCD(1/2”) 黑白CCD(1/2”) 复合或标准视频
工业显微镜 连续变倍:1:10
1.5X物镜 (50~500×)
连续变倍:0.7-4.5×;
工业内照明高倍率长工作距显微镜,物镜倍率:3×~100×
C-Mount接口
计算机系统  商用PC,98/2000/XP 工业控制机 ,彩色喷墨打印机  -
测量控制软件  TDYMS V60CNC - -
底座  花岗石00级 - -
照明光源 透射6V20W,反射21V150W可调卤素灯  外接照明  -
工作台行程(测量范围) X:150mm,Y:150mm,Z:100mm X:100-400mm,Y:100-200mm
Z:100-200mm
Z轴带有粗微调机构,以满足不同高度工件的测量 (80mm 范围)
驱动方式 X、Y、Z:CNC电动  JOG控制盒 -
驱动电机 三相步进电机 伺服电机 -

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