显微光学整体解决方案

IDS-108工业测量显微镜

    ID-108测量显微镜广泛应用于半导体、电子工业进行晶体、集成电路的检验和精确测量。配备有冷光源光纤反射照明,成像和观察系统,偏光装置。
技术参数
    1.无限远光学系统,管镜焦距200mm
    2.铰链式三目镜筒,30°倾斜,瞳距55-75mm
    3.高眼点、视场目镜WF10×/22
    4.五孔物镜转换器
    5.长工作距离平场复消色差物镜
    Plan Apo 2×/0.055   W.D. 34.6mm  分辨率5μm,
    Plan Apo 5×/0.14    W.D. 45mm    分辨率2μm,
    Plan Apo 10×/0.28   W.D. 34mm    分辨率1μm,
    Plan Apo 20×/0.29   W.D. 30.8mm  分辨率1μm
    Plan Apo 50×/0.42   W.D. 20.5mm  分辨率0.7μm
    6.调焦系统同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
    7.载物台6″×8″双层活动平台,移动行程153×204mm
    8.三维测量系统  
       分辨率:1μm
       测量精度:±(2+L/200)μm
       重复定位精度: 2μm
       照明系统
    9.12V150W冷光源光纤反射照明器,特别明亮清晰
    10.完善和全面的测量软件
    a.完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)
    b.坐标系的设定,摆正,旋转
    c.显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换

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